圓光柵
SiGNUM RSEM
SiGNUM RESM圓光柵在高速和高溫時(shí)能夠保證精度、分辨率和重復(fù)精度
還具有超低的周期誤差和IN-TRAC?光學(xué)參考零位
其性能適于精度要求極高的測(cè)量場(chǎng)合
概述
SiGNUM? RESM圓光柵在高速和高溫時(shí)能夠保證精度、分辨率和重復(fù)精度。它還具有超低的周期誤差和IN-TRAC?光學(xué)參考零位。RESM圓光柵的性能適于精度要求極高的測(cè)量場(chǎng)合。SiGNUM?還提供直線光柵。
SR讀數(shù)頭和Si接口盒的特性與優(yōu)點(diǎn)
系統(tǒng)由SR讀數(shù)頭、Si接口盒和RELM 20 μm柵距的圓光柵組成。
動(dòng)態(tài)信號(hào)控制確保周期誤差為±30 nm，具有“精細(xì)柵距”光柵性能
最高工作速度達(dá)4 500轉(zhuǎn)/分，最高工作溫度達(dá)85°C
在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下，仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性。
IP64“可反復(fù)使用的讀數(shù)頭”在被冷卻液噴濺或浸沒之后只需"擦拭干凈”即可恢復(fù)原樣
Si接口盒提供具有工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
FANUC串行兼容接口 (Si-FN) 直接通過接口進(jìn)行FANUC串行通訊，以提高性能并簡(jiǎn)化連接（Si-FN僅與直徑為?52 mm、?104 mm、?209 mm和?417 mm的圓光柵兼容）
用戶可選的AGC保持1 Vpp的模擬信號(hào)幅度
讀數(shù)頭和接口盒上的LED指示燈能夠?qū)崿F(xiàn)最佳安裝和系統(tǒng)診斷
高柔性、UL認(rèn)證的電纜 — 在讀數(shù)頭和接口盒之間長(zhǎng)達(dá)10 m
提供可選的IP68內(nèi)置接頭
RESM圓光柵的特性與優(yōu)點(diǎn)
RESM圓光柵為一體式不銹鋼圓光柵，其柱面上直接刻有20 μm柵距的刻線并具有IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位。輕薄小巧的RESM有多種尺寸（直徑從52 mm到550 mm）和刻線數(shù)可供選擇，具有內(nèi)徑大、安裝靈活的特點(diǎn)。
IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位，在工作速度超過4,500轉(zhuǎn)/分 (?52 mm) 且溫度達(dá)85°C時(shí)具有雙向、可重復(fù)功能
提供多種直徑和刻線數(shù)，可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數(shù)從8,192到86 400）
具有專利的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成
刻劃精度達(dá)±0.5角秒*，系統(tǒng)重復(fù)精度達(dá)0.02角秒（20 nm Si接口盒和?413 mm圓光柵）
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了系統(tǒng)精度和動(dòng)態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動(dòng)、機(jī)械和熱撞擊，以及熱負(fù)載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間，還可提供轉(zhuǎn)動(dòng)慣量極低的"B"截面圓光柵
FANUC串行Si-FN接口與?52 mm、?104 mm、?209 mm和?417 mm圓光柵兼容
還可提供與部分圓弧應(yīng)用相關(guān)的用戶可選定位、雙光學(xué)限位
*200 mm RESA圓光柵的典型結(jié)果
SiGNUM?軟件
SiGNUM?是計(jì)算機(jī)軟件，可以實(shí)現(xiàn)全面的校正、設(shè)定優(yōu)化及“實(shí)時(shí)”診斷，從而簡(jiǎn)化了系統(tǒng)安裝與維護(hù)。Si接口盒通過一個(gè)微型USB接頭連接在計(jì)算機(jī)上。
對(duì)包括信號(hào)強(qiáng)度表、利薩如 (Lissajous) 圖形和IRED反饋表（AGC驅(qū)動(dòng)）在內(nèi)的信號(hào)水平和系統(tǒng)性能進(jìn)行“實(shí)時(shí)”遠(yuǎn)程監(jiān)控，幫助系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)優(yōu)化
俯仰調(diào)節(jié)指示器可精細(xì)調(diào)整讀數(shù)頭俯仰度
參考零位信號(hào)和增量信號(hào)快速、簡(jiǎn)單的遠(yuǎn)程校準(zhǔn)
在實(shí)時(shí)閉環(huán)操作過程中，通過USB對(duì)系統(tǒng)性能進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控
系統(tǒng)在非最佳狀態(tài)（警告功能）和出現(xiàn)任何錯(cuò)誤（報(bào)警功能）時(shí)向用戶發(fā)出報(bào)警
技術(shù)“信息”指南提供系統(tǒng)功能和查錯(cuò)的上下文說明和詳細(xì)解釋
系統(tǒng)配置頁(yè)面顯示Si接口盒配置詳細(xì)分辨率、時(shí)鐘頻率等信息
通過FANUC串行Si-FN接口可獲得DRO功能。
多語(yǔ)言用戶接口可使用戶從英語(yǔ)、德語(yǔ)、意大利語(yǔ)和日語(yǔ)中進(jìn)行選擇
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出（分辨率） RS422： 5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。
模擬： 1 Vpp
FANUC串行： 20位、23位、24位、25位、26位
細(xì)分 Si接口（x4至x4000）
參考零位 IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位
限位開關(guān) 用戶定位的雙光學(xué)限位
最高速度 4500轉(zhuǎn)/分
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm柵距RESM圓光柵
真空兼容 否
系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESM與SiGNUM?
標(biāo)稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度（角秒） 標(biāo)稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度（角秒）
52 4.28 206 1.08
57 3.91 209 1.07
75 2.97 229 0.97
100 2.23 255 0.87
101 2.21 300 0.74
103 2.16 350 0.64
104 2.14 413 0.54
115 1.94 417 0.53
150 1.49 489 0.46
200 1.11 550 0.41
